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面向精度设计的硅微机械陀螺系统参数获取方法

5302020/06/11
基本信息
  • 成果类型 高等院校
  • 委托机构 西北工业大学
  • 成果持有方 西北工业大学
  • 行业领域 微系统工程
  • 项目名称 面向精度设计的硅微机械陀螺系统参数获取方法
  • 知识产权 发明专利
  • 项目简介 发明公开了一种面向精度设计的硅微机械陀螺系统参数获取方法,属于微机电系统设计领域。该方法通过建立参数之间的关联,给出一套从陀螺精度指标出发,考虑精度,电路噪声,带宽,灵敏度,谐振频率,品质因数,机械噪声,寄生电容,反馈电容,电容分辨率,驱动位移,激励电压等参数,以中心电容为结束的完整设计流程,为硅微机械陀螺的精度设计提供指导方法。本专利通过建立参数之间的关联,克服硅微机械陀螺参数复杂、多样的特点对设计者造成的困扰,完成面向精度的陀螺系统参数设计。
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交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2021/06/11
  • 委托机构 西北工业大学
  • 联系人姓名 王小刚
  • 联系人电话 15802954800
  • 联系人邮箱 745490733@qq.com
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