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基本信息
- 成果类型 高等院校
- 委托机构 西安电子科技大学
- 成果持有方 西安电子科技大学
- 行业领域 微电子
- 项目名称 具有双InGaN子量子阱的共振隧穿二极管及其制作方法
- 知识产权 发明专利
- 项目简介 本发明公开了一种具有双InGaN子量子阱的共振隧穿二极管,主要改善现有器件隧穿电流小、I‑V特性可重复性差的问题。其包括主体和辅体两部分,主体部分自下而上为:SiC衬底层、GaN外延层、n+GaN集电极欧姆接触层、第一GaN隔离层、第一InAlN势垒层、第一GaN主量子阱层、第二GaN主量子阱层、第二InAlN势垒层、第二GaN隔离层和n+GaN发射极欧姆接触层;辅体部分有环形电极、圆形电极和钝化层。环形电极在n+GaN集电极欧姆接触层上方,圆形电极在n+GaN发射极欧姆接触层上方,钝化层在环形和圆形电极上方。本发明能有效提高器件功率、降低功耗并改善可重复性,适用于太赫兹频段工作。
交易信息
- 意向交易额 面议
- 挂牌时间 2020/08/27
- 委托机构 西安电子科技大学
- 联系人姓名 王小刚
- 联系人电话 15802954800
- 联系人邮箱 745490733@qq.com
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2019/08/27
咨询成果
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